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高科技

高科技部门必须建立洁净室及相关的受控环境,使人们可对其中的空气悬浮微粒浓度、室内温度、湿度及压力进行管控。

这个领域非常多样化,涉及多种经营活动(微观力学、微电子技术、半导体、光学仪器业、动力激光、宇宙空间、纳米技术......)。

洁净室由外壳包裹,所谓外壳即指不同(分级和/或未分级)区域间的隔断、顶棚、大门及地面等物理屏蔽,而洁净室必须符合某些设计标准或明确的特性要求(机械稳定性、几何精确度、人体工程学、遇火表现、声衰减......)

在高科技领域,人们对污染区域及风险的区分如下:

  •  保护可能会被微粒或分子污染的机房设备,
  •  保护可能会被操作人员、微粒或分子污染的制品。

洁净室的外壳构成材料尤其应该符合密封性、清洁度、抗冲击、外观、ATEX兼容性、无微粒残留及无污染物增生的要求。

在某些条件下,隔断必须符合与脱气风险或静电负载及卸载风险相关的规定(ESD 兼容性)。

NF EN ISO 14644规范将洁净室定义为《这样的房间,室内空气悬浮微粒浓度受控,房间建设及使用遵循这样的方式:微粒引入室内机会最小化、微粒室内产生与残留最小化;室内温度、湿度及压力等其他相关参数也受到适当管控》。




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